3.1真空泵抽真空性能检查

    操作方法：在冻干机停机状态下(停机状态下与冻干机连接的所有阀门为关闭状态)，手动打开一台旋片式真空泵，观察是否能到达极限真空，将真空泵关闭，然后观察泵头真空变化情况。

    结果分析：手动压力升试验时﹐前箱真空探头数值回升，每分钟回升3.2Pa(32 ubar)，并有无限回升的趋势。

    解决方案：将与真空泵相连的所有快卡连接处全部拆卸，更换新的密封圈，同时在连接处涂抹真空脂(拆卸时发现有部分快卡松动，部分密封圈老化严重)，更换完毕后重新进行抽真空测试。

    结果确认：真空泵极限真空抽到0.7Pa(7 ubar)，关闭真空泵后泵头无回升现象﹐真空泵及管道泄漏的原因可以排除。

    3.2后箱及与后箱连接的所有管道、阀门、快卡密封检漏

    操作方法：首先在后箱安装数显式真空探头，冻干机运行空载程序将箱内抽到极限真空[设定为1Pa(10 ubar)，实际只抽到6.5Pa (65 ubar)]，关闭空载程序，观察数显式真空探头数值回升情况。

    结果分析：数显探头数值有一定的变化，后箱属于微漏。

    解决方案：将与后箱直接相连的所有快卡连接处全部拆卸，更换新的密封圈，同时在连接处涂抹真空脂(拆卸时发现有部分密封圈老化严重)，更换完毕后重新进行抽真空测试。

    结果确认：数显探头数值无变化，后箱泄漏的原因可以排除。